“波长在200纳米至350纳米的光线被称为深紫外线，目前大多数的研究，多是围绕着深紫外线开展！对于更短波长的紫外线利用，目前还没有明确稳定技术！”光刻机以光为刃，扮演的角色就好比拍照时的相机。它通过使用光线把设计好的电路图案精准地“拍”到硅片上。极紫外光，由于波长极短，所以能刻画出更小的芯片特征尺寸，因而成了制造7纳米及以下先进制程芯片。深紫外线在光刻分辨率上的性能，...