光学技术研发实验室徐华和李默这两位负责人正在为极紫外光源技术的几个问题进行讨论。“李博士，虽然我们有复眼镜头的加持，但是在靶材、碎屑污染也是问题啊！”徐华有些犯愁。虽然说蜂巢复眼镜头技术的出现，从某种程度上解决了极紫外光源的核心镜片问题，但是仍旧有一些问题存在。众所周知，EUV极紫外光刻机最为关键的部件就是极紫外光源，这就不用多说了。...